園區出租空間
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半導體設備產業聚落面積
- 佔地面積 37,263 m2 (401,042 ft2)
- 總建築面積 68,317 m2 (735,362 ft2)
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無塵室
- 1 層 (1,090m2, 層高4.5米,1,000~100,000 級 )
- 2 層 ( 1,090m2, 層高3.5米,100~1,000 級
可擴展空間
- 1 層 (8,595m2, 層高4.5米,100~1,000 級 )
- 2 層 (3,273m2, 層高3.5米,100~1,000 級 )
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Refurbishment bay
- 1 層 (1,652m2, 層高4.5米)
- 溫溼度調節系統(24±1℃ / Humidity 45±5%)
- 具備可隨時使用的公用設施(PCW, CDA, DI, N2, Vacuum以外)
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恆溫恆濕展示廳
- 59,504 m2 (640,497 ft2)
- 1 層 ( 層高8m), 2 層 ( 層高9m), 4 層 ( 層高7m), 5 層 ( 層高 5m), 6 層 ( 層高3.5m)
- 最佳化的恆溫恆濕倉庫
- 提供乾淨且舒適的環境
- 所有入駐的公司都可使用個別保全系統
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共用工作空間
- 2~5 層 8,083 m2 (94,757 ft2)
- 可自由交流的開放式大廳
- 提供辦公用空間、化妝室、講堂等定製商務空間租賃
- 提供Book Cafe、自助餐廳、會議室等多種便利設施使用