集群租赁空间
-
半導体クラスター面積
- 敷地面積 37,263 m2 (401,042 ft2)
- 建坪 68,317 m2 (735,362 ft2)
-
超净间
- 1层(1,090m2, 层高4.5米,1,000~100,000级)
- 2层( 1,090m2, 层高3.5米,100~1,000级)
追加扩展空间
- 1层(8,595m2, 层高4.5米,100~1,000级)
- 2层(3,273m2, 层高3.5米,100~1,000级)
-
翻新间
- 1层(1,652m2, 层高4.5米)
- 温湿度调节系统(24±1°C / 湿度45±5%)
- 配备Utility(PCW、CDA、DI、N2、Vacuum等)
-
恒温恒湿展示厅
- 59,504 m2 (640,497 ft2)
- 1层(层高8m), 2层(层高9m), 4层(层高7m), 5层(层高 5m), 6层(层高3.5m)
- 最佳恒温恒湿仓库,温湿度监测系统
- 提供干净、舒适的环境
- 单独保安系统及设备搬运/出入口
-
共用工作空间
- 2~5层 8,083 m2 (94,757 ft2)
- 可以自由交流的开放式大厅
- 租用办公空间、会议室、礼堂定制商务空间
- 图书馆、自助餐厅、会议室、健身房等多种便利设施